| 摘要 |
本发明提供一种线锯装置，是具备：卷绕于复数个附凹沟滚筒，在轴方向作往复行进的钢线；供给浆液的喷嘴；以及一边保持工作一边向钢线进给的工件进给机构；一边从喷嘴供给浆液至钢线，一边将工件进给，压抵作往复行进的钢线，而切断成晶圆状之形态的线锯装置，其中工件进给机构的工件保持部，系经由要被接着于工件上的抵板与工件板，来保持工件；用以防止从工件的钢线的切入部飞散出来的浆液之板状或块状的浆液飞散防止构件，系被配设于工件保持部的下方，且位于钢线对于工件的切入侧与切出侧的两侧，而垂直于钢线列的方向。藉此，提供一种线锯装置，可抑制工件以从工件的钢线的切入部飞散出来的浆液为原因而产生的伸缩运动，而可改善被切断的晶圆的翘曲情况。 |
