发明名称 |
多晶硅铸锭炉用石墨坩锅 |
摘要 |
一种多晶硅铸锭炉用石墨坩锅,属多晶硅铸锭炉用石墨坩埚的制造技术领域,主要由底板(3),置于底板(3)四周带紧固螺丝(4)的侧板(1)、(2),开设于底板(3)四周与侧板(1)、(2)的底部之间的沟槽(5)等构成,沟槽(5)在底板(3)四周为任意位置、任意数量设置。本实用新型通过在底板四周与侧板的底部之间开设沟槽,使石墨坩锅的整体设计更趋合理,当石英坩埚出现裂纹时,可在沟槽的导引之下,将溢流硅液及时按指定流向溢流,产生报警,提醒操作者注意。 |
申请公布号 |
CN201104102Y |
申请公布日期 |
2008.08.20 |
申请号 |
CN200720113619.9 |
申请日期 |
2007.08.23 |
申请人 |
浙江精工科技股份有限公司绍兴县精工机电研究所有限公司 |
发明人 |
徐芳华;孙海梁;卫国军;高杰 |
分类号 |
F27B14/10(2006.01) |
主分类号 |
F27B14/10(2006.01) |
代理机构 |
浙江翔隆专利事务所 |
代理人 |
戴晓翔 |
主权项 |
1. 一种多晶硅铸锭炉用石墨坩锅,包括底板(3),置于底板(3)四周带紧固螺丝(4)的侧板(1)、(2),其特征在于底板(3)的四周与侧板(1)、(2)的底部之间还开设有沟槽(5)。 |
地址 |
312030浙江省绍兴县柯桥街道柯西工业园区鉴湖路1809号 |