| 发明名称 | 在铜大马士革技术中用于估计凹陷和侵蚀效应的测试结构 | ||
| 摘要 | 一种测试结构将用于侵蚀评价的第一结构(1010)与用于提取缺陷尺寸分布的第二结构(1000)结合起来。第一结构(1010)为可用于测定随金属高度而变化的电阻值的环结构。第二结构为NEST结构(1000)。环结构(1010)的环形线被连接到NEST结构(1000)的两侧。 | ||
| 申请公布号 | CN100409015C | 申请公布日期 | 2008.08.06 |
| 申请号 | CN02819157.9 | 申请日期 | 2002.09.27 |
| 申请人 | PDF技术公司 | 发明人 | 丹尼斯·J·契普利卡斯;马库斯·德克尔;克里斯托弗·赫斯;布莱恩·E·斯泰恩;拉尔格·韦兰 |
| 分类号 | G01R31/02(2006.01);G01R31/26(2006.01) | 主分类号 | G01R31/02(2006.01) |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 陆弋;钟强 |
| 主权项 | 1. 一种测试结构，具有用于侵蚀评价的第一结构和用于提取缺陷尺寸分布和缺陷密度分布的第二结构，其中所述第一结构为环结构，所述第二结构为NEST结构。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||