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发明名称 Electron emitters for lithography tools
摘要
申请公布号 KR100850034(B1) 申请公布日期 2008.08.04
申请号 KR20000024335 申请日期 2000.05.08
申请人 发明人
分类号 G03F7/20;H01L21/027;H01J37/06;H01J37/065;H01J37/305 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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