发明名称 蒸镀装置和方法、显示装置及制造方法、有机电致发光元件
摘要 本发明公开了蒸镀装置、蒸镀方法、有机电致发光元件、显示装置及其制造方法,其中,该蒸镀装置包括:材料保持部,用于填充有蒸镀材料并加热蒸镀材料;开口,用于朝向蒸镀构件扩散由材料保持部蒸发的蒸镀材料;以及高温体,设置在材料保持部和开口之间,高温体被加热到比在材料保持部中被加热的蒸镀材料的温度高的温度。通过来自高温体的辐射热加热表层可使填充在材料保持部中的蒸镀材料整体保持维持在较低的平均温度,从而可以抑制材料的劣化。
申请公布号 CN101232755A 申请公布日期 2008.07.30
申请号 CN200810004206.6 申请日期 2008.01.21
申请人 索尼株式会社 发明人 植竹犹基;加纳浩志;西塔明
分类号 H05B33/10(2006.01);C23C14/12(2006.01);H05B33/12(2006.01) 主分类号 H05B33/10(2006.01)
代理机构 北京康信知识产权代理有限责任公司 代理人 余刚;吴孟秋
主权项 1.一种蒸镀装置,包括:材料保持部,用于填充蒸镀材料并加热所述蒸镀材料;开口,用于朝向蒸镀构件扩散由所述材料保持部蒸发的所述蒸镀材料;以及高温体,设置在所述材料保持部和所述开口之间,所述高温体被加热到比在所述材料保持部中被加热的所述蒸镀材料的温度高的温度。
地址 日本东京