发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100848734(B1) 申请公布日期 2008.07.25
申请号 KR20070017106 申请日期 2007.02.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;H01L21/8247;H01L27/115 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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