发明名称 |
一种直写电子/光电子元器件的微细笔及由其构成的装置 |
摘要 |
本发明公开了一种直写电子/光电子元器件的微细笔及由其构成的装置。微细笔的结构为:减压装置位于笔帽内,并与位于笔帽顶部的施压气管相连,笔帽的下端与笔筒的上端活动、密封连接构成储料腔,储料腔用于储存需要沉积的物料,笔筒的下端为笔尖。该微细笔通过两个并联的压力控制装置与气源连接,并采用控制器控制两条气路的通断和微细笔相对基板的运动,构成直写装置。微细笔可用于制作电子元器件,还可用于制作光电子元器件,如聚合物光波导。结合该微细笔的结构特点和聚合物材料的特性,可将聚合物材料置于微细笔内,在基板上直写出光波导。本发明装置布线速度快,线宽范围大,制造和运行成本低,布线速度范围为2mm/s~15mm/s,线宽范围为0.06mm~2mm。 |
申请公布号 |
CN100405539C |
申请公布日期 |
2008.07.23 |
申请号 |
CN200610019740.5 |
申请日期 |
2006.07.27 |
申请人 |
华中科技大学 |
发明人 |
曾晓雁;李祥友;王泽敏;李金洪;王小宝;曹宇 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01);H01L21/768(2006.01);H01L21/288(2006.01);H01L21/3205(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01) |
代理机构 |
华中科技大学专利中心 |
代理人 |
曹葆青 |
主权项 |
1.一种直写电子/光电子元器件的微细笔,其特征在于:减压装置(2)位于笔帽(3)内,并与位于笔帽(3)顶部的施压气管(1)相连,减压装置(2)使气压平缓地加到笔筒(6)上;笔帽(3)的下端与笔筒(6)的上端活动、密封连接构成储料腔(4),储料腔(4)用于储存需要沉积的物料,笔筒(6)的下端为笔尖(7)。 |
地址 |
430074湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号 |