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发明名称 Oxidizing method and oxidation system
摘要
申请公布号 EP1152461(B1) 申请公布日期 2008.07.09
申请号 EP20010110670 申请日期 2001.05.02
申请人 TOKYO ELECTRON LIMITED 发明人 SATO, SHOICHI;HASEBE, KAZUHIDE;UMEZAWA, KOTA
分类号 H01L21/316;C01B13/00;C01B13/02 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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