使用电极气密密封的高可靠性半导体装置

摘要

本发明涉及一种具有高可靠性的半导体装置，该装置不使用密封材料，而通过框架结构密封形成于基板上的电极以防止电极的劣化。本发明的框架结构密封形成于基板上的电极。框架结构内部为真空或者填充不与电极发生反应的气体，由此防止因氧气或水分而引起电极的劣化。

主权项

1.一种半导体装置，其特征在于，包含：形成有一个或多个电极的第1基板、形成有一个或多个电极的第2基板、以及框架结构，形成于第1基板上的一个或多个电极的每个与形成于第2基板上的对应的一个或多个电极的每个，通过不使用突起地直接接触而电连接，框架结构包围形成于第1和第2基板上的电极，由此气密密封这些电极，第1基板和第2基板经由框架结构而接合。