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发明名称 COLLECTOR FOR LIGHTING SYSTEMS WITH A WAVELENGTH </= 193 NM
摘要
申请公布号 EP1938150(A2) 申请公布日期 2008.07.02
申请号 EP20060806336 申请日期 2006.10.17
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 HAINZ, JOACHIM;ENDRES, MARTIN;SINGER, WOLFGANG;KLEEMANN, BERND;BADER, DIETER
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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