半导体聚落之统计制程管制系统与方法

摘要

一种半导体聚落的统计制程管制方法。藉由一第一晶圆厂之一第一制造执行系统对一晶圆批量执行制程与量测操作,并且将制程与量测资料储存在该第一晶圆厂之一第一统计制程管制资料库中。藉由一第一代理伺服器判断是否自该第一制造执行系统收到一跨厂要求。若收到该跨厂要求,则藉由该第一代理伺服器将该晶圆批量之线上统计制程资讯与该第一统计制程管制资料库中的品管政策同时传送到一第二晶圆厂之一第二统计制程管制资料库。将该晶圆批量传送到该第二晶圆厂,以一第二制造执行系统根据该品管政策对该晶圆批量执行制程处理。