| 摘要 |
本发明具备:复数台气体产生单元10a-10c,其包含填充有吸附剂之2个吸附槽1,2,产品槽3,可开闭将原料空气导入吸附槽之流路的吸附阀SV1,SV2、排气阀SV3,SV4、均压阀SV5及出口阀SV6,SV7;原料空气源11;以及聚积产品槽12,系聚积贮藏于各产品槽之产品气体;在2个吸附槽交互进行供给已压缩的原料空气并进行吸附的吸附动作,与在低压下使气体脱离的脱离动作。控制装置13具有统一控制复数台气体产生单元之运转,以切换运转之单元台数的功能,且将复数台气体产生单元之动作各步骤切换时点控制成在各单元各自错开等时间间隔。如此可容易地应对产品气体流量的增大,也可在广范围增加或减少产品气体之供给流量而进行经济运转。 |
