OPTICAL FILTER AND METHOD FOR THE PRODUCTION OF THE SAME, AND DEVICE FOR THE EXAMINATION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION

摘要

Die Erfindung betrifft ein optisches Filter und ein Verfahren zu seiner Herstellung, sowie auf eine Vorrichtung zur Untersuchung der spektralen und örtlichen Verteilung einer elektromagnetischen, von einem Gegenstand ausgehenden Strahlung. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein kostengünstig herstellbares optisches Filter der oben beschriebenen Art vorzuschlagen, mit dem eine Mehrzahl von Wellenlängen detektiert werden kann, bei dem aber eine Durchstimmung durch Verschiebung der DBR-Spiegel nicht erforderlich ist. Außerdem soll ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Filters vorgeschlagen werden. Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung wird diese Aufgabe gelöst durch ein Verfahren zur Herstellung eines optischen Filterarrays mit zwei DBR-Spiegeln und einer zwischen diesen vorhandenen Kavität, die eine Vielzahl von unterschiedliche Höhen aufweisenden, je ein Fabry-Perot-Filterelement bildenden Kavitätsabschnitten enthält, gekennzeichnet durch die folgenden Schritte: Aufbringen eines ersten DBR-Spiegels auf ein Substrat, Ausbildung einer aus einem Kavitätsmaterial bestehenden Schicht auf dem DBR-Spiegel, wobei diese Schicht durch Anwendung eines Nanoimprint- Verfahrens mit der Vielzahl der die Filterelemente bis bildenden Kavitätsabschnitte versehen wird, und Aufbringen des zweiten DBR-Spiegels auf das Kavitätsmaterial mit einer durch die unterschiedlichen Höhen der Kavitätsabschnitte vorgegebenen Strukturierung.