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发明名称 HOCHTEMPERATUR-PROZESSKAMMER MIT LANGER LEBENSDAUER
摘要
申请公布号 DE69838484(T2) 申请公布日期 2008.06.26
申请号 DE19986038484T 申请日期 1998.11.02
申请人 ASM AMERICA INC. 发明人 WENGERT, JOHN F.;RAAIJMAKERS, IVO;HALPIN, MIKE;JACOBS, LOREN;MEYER, MICHAEL J.;VAN BILSEN, FRANK;GOODMAN, MATT;BARRETT, ERIC;WOOD, ERIC;SAMUELS, BLAKE
分类号 C23C16/44;C23C16/48;G01K1/12;H01L21/00;H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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