| 发明名称 | 非临界层的临界尺寸的覆盖标记 | ||
| 摘要 | 一种覆盖标记，用于监测非临界层的临界尺寸(critical dimension)，包含四条彼此分离的第一条状物(bar)。此四条第一条状物定义一矩形，且每一第一条状物对应并平行矩形的每一边长。四条彼此分离的第二条状物位于矩形中，其中每一第二条状物对应并平行每一边长且由多条彼此平行的第三条状物所组成。 | ||
| 申请公布号 | CN100397573C | 申请公布日期 | 2008.06.25 |
| 申请号 | CN200310108193.4 | 申请日期 | 2003.10.27 |
| 申请人 | 上海宏力半导体制造有限公司 | 发明人 | 傅国贵;周孟兴 |
| 分类号 | H01L21/027(2006.01);H01L21/66(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | H01L21/027(2006.01) |
| 代理机构 | 上海光华专利事务所 | 代理人 | 余明伟 |
| 主权项 | 1.一种非临界层的临界尺寸的覆盖标记，用于监测非临界层的临界尺寸，其特征在于，其包含：四条彼此分离的第一条状物，该四条第一条状物定义一矩形，其中每一该第一条状物对应并平行该矩形的每一边长；及四条彼此分离的第二条状物，该四条第二条状物位于该矩形中，其中每一该第二条状物对应并平行每一该边长且由多条彼此平行且分离的第三条状物所组成，每一该第三条状物垂直该对应的边长。 | ||
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江高科技园区郭守敬路818号 | ||