发明名称 PRINTED CHEMICAL MECHANICAL POLISHING PAD HAVING ABRASIVES THEREIN
摘要 연마 패드의 연마 층을 제작하는 방법은, 연마 층의 폴리머 매트릭스 내에 임베딩될 입자들의 원하는 분포를 결정하는 단계를 포함한다. 3D 프린터를 이용하여, 폴리머 매트릭스의 복수의 층들이 연속적으로 증착되고, 폴리머 매트릭스의 복수의 층들의 각각의 층은, 노즐로부터 폴리머 매트릭스 전구체를 토출함으로써 증착된다. 3D 프린터를 이용하여, 입자들의 복수의 층들이, 원하는 분포에 따라, 연속적으로 증착된다. 폴리머 매트릭스 전구체는, 입자들이 원하는 분포로 임베딩된 폴리머 매트릭스로 응고된다.
申请公布号 KR20160083922(A) 申请公布日期 2016.07.12
申请号 KR20167014958 申请日期 2014.10.22
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 KRISHNAN KASIRAMAN;PATIBANDLA NAG B.;GOPALAN PERIYA
分类号 H01L21/304;B24B37/24;B24D3/28;B24D18/00;B29C67/00;B29K101/10;B29K105/16;B33Y10/00;B33Y80/00;H01L21/306 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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