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发明名称 Ceramic heating jig
摘要
申请公布号 EP1107291(B1) 申请公布日期 2008.06.25
申请号 EP20000310826 申请日期 2000.12.06
申请人 SHIN-ETSU CHEMICAL COMPANY, LTD. 发明人 KANO, SHOJI;ITO, KENJI;SATO, AKIRA
分类号 H01L21/00;H01L21/683;C23C16/46;H01L21/22;H01L21/324;H05B3/00;H05B3/10;H05B3/14;H05B3/26 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
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