发明名称 |
用于高能和高温气体的隔离阀 |
摘要 |
一种改进的流体流量控制阀(15a),能够传导通过其中的热能的大部分,该阀包括第一部分(60)、第二部分(62)和可动构件(64)。第一部分包括与流体源流体连通的孔(66)。第二部分包括至少部分与第一孔(66)对准的第二孔(68)。设置在第一和第二部分之间并与它们隔开的可动构件使热能的至少主要部分能够从第一部分传导到第二部分。可动构件包括孔(70),该孔在可动构件在打开位置时至少部分与第一和第二孔对准,且当可动构件在关闭位置时不与第一和第二孔中的至少一个对准。 |
申请公布号 |
CN101198812A |
申请公布日期 |
2008.06.11 |
申请号 |
CN200680021416.5 |
申请日期 |
2006.05.08 |
申请人 |
MKS仪器股份有限公司 |
发明人 |
M·M·贝森;D·K·史密斯;R·W·小科林斯;J·派瑟拉 |
分类号 |
F16K5/04(2006.01);F16K51/00(2006.01);F16K11/085(2006.01);C23C16/452(2006.01);C23C16/455(2006.01) |
主分类号 |
F16K5/04(2006.01) |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 |
代理人 |
张兰英 |
主权项 |
1.一种流体流量控制阀,包括:第一部分,限定与流体源流体连通的第一孔;第二部分,限定与所述第一孔至少部分对准的第二孔;以及可动构件,设置在所述第一和第二部分之间并与所述第一和第二部分隔开,以使热能的至少主要部分能够从所述第一部分传导到所述第二部分,所述可动构件限定有孔,当所述可动构件在打开位置时所述孔至少部分与所述第一和第二孔对准,当所述可动构件在关闭位置时所述孔不与所述第一和第二孔中的至少一个对准。 |
地址 |
美国马萨诸塞州 |