发明名称 |
薄膜光电晶体管,应用该光电晶体管的有源矩阵衬底以及应用该衬底的图象扫描装置 |
摘要 |
栅绝缘薄膜(14)和半导体层(15)层叠在栅极(13)上;源电极(17)和漏电极(18)形成在半导体层(15)上,源电极(17)和漏电极(18)的端部之间有预先确定的间隙。每个源电极(17)和漏电极(18)都包括一个重叠区域(17a和18a),该重叠区域(17a和18a)的至少一部分具有半透明性。该设置实现了光灵敏度(Ip/Id)的提高,同时不使引线布局或制造工艺复杂化。 |
申请公布号 |
CN100394608C |
申请公布日期 |
2008.06.11 |
申请号 |
CN03814348.8 |
申请日期 |
2003.07.03 |
申请人 |
夏普株式会社 |
发明人 |
和泉良弘 |
分类号 |
H01L27/14(2006.01);H01L31/10(2006.01);H01L29/786(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/14(2006.01) |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 |
代理人 |
张鑫 |
主权项 |
1.一种薄膜光电晶体管,包括:一个栅极;一个设置在栅极上的栅绝缘薄膜;一个层叠在栅绝缘薄膜上的感光半导体薄膜;一个设置在感光半导体薄膜上的源电极;和一个设置在感光半导体薄膜上的漏电极,源电极的端部和漏电极的端部分开一个预先确定的距离,源电极和/或漏电极包括一个水平重叠在栅极上的重叠区域,该重叠区域包括至少一个具有半透明性的部分。 |
地址 |
日本大阪府 |