发明名称 |
一种耦接电容结构及其制造方法 |
摘要 |
本发明公开了一种耦接电容结构及其制造方法,该结构形成于一半导体衬底上,包括:一个PiP电容和一个晶体管电容,该PiP电容和晶体管电容并联,该晶体管电容带有预埋注入层,其中:该晶体管电容的源极连接于金属一,该金属一连接PiP电容的第一层Poly;PiP电容的第二层Poly作为晶体管电容的栅极,该层Poly连接金属二。本发明由于采用新的版图设计将PIP电容和晶体管电容并联,能大幅提高单位面积电容,并最终节省芯片面积。 |
申请公布号 |
CN101197371A |
申请公布日期 |
2008.06.11 |
申请号 |
CN200610119194.2 |
申请日期 |
2006.12.06 |
申请人 |
上海华虹NEC电子有限公司 |
发明人 |
徐向明;龚顺强 |
分类号 |
H01L27/06(2006.01);H01L21/822(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/06(2006.01) |
代理机构 |
上海浦一知识产权代理有限公司 |
代理人 |
丁纪铁;李隽松 |
主权项 |
1.一种耦接电容结构,形成于一半导体衬底上,其特征在于,包括:一个PiP电容和一个晶体管电容,所述PiP电容和晶体管电容并联,所述晶体管电容带有预埋注入层,其中:所述晶体管电容的源极连接于金属一,该金属一连接所述PiP电容的第一层Poly;所述PiP电容的第二层Poly作为所述晶体管电容的栅极,该层Poly连接金属二。 |
地址 |
201206上海市浦东新区川桥路1188号 |