发明名称 一种耦接电容结构及其制造方法
摘要 本发明公开了一种耦接电容结构及其制造方法,该结构形成于一半导体衬底上,包括:一个PiP电容和一个晶体管电容,该PiP电容和晶体管电容并联,该晶体管电容带有预埋注入层,其中:该晶体管电容的源极连接于金属一,该金属一连接PiP电容的第一层Poly;PiP电容的第二层Poly作为晶体管电容的栅极,该层Poly连接金属二。本发明由于采用新的版图设计将PIP电容和晶体管电容并联,能大幅提高单位面积电容,并最终节省芯片面积。
申请公布号 CN101197371A 申请公布日期 2008.06.11
申请号 CN200610119194.2 申请日期 2006.12.06
申请人 上海华虹NEC电子有限公司 发明人 徐向明;龚顺强
分类号 H01L27/06(2006.01);H01L21/822(2006.01) 主分类号 H01L27/06(2006.01)
代理机构 上海浦一知识产权代理有限公司 代理人 丁纪铁;李隽松
主权项 1.一种耦接电容结构,形成于一半导体衬底上,其特征在于,包括:一个PiP电容和一个晶体管电容,所述PiP电容和晶体管电容并联,所述晶体管电容带有预埋注入层,其中:所述晶体管电容的源极连接于金属一,该金属一连接所述PiP电容的第一层Poly;所述PiP电容的第二层Poly作为所述晶体管电容的栅极,该层Poly连接金属二。
地址 201206上海市浦东新区川桥路1188号