| 发明名称 | 互连及其形成方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种互连，其包括具有顶表面和下表面的铜导体，在所述金属导体的顶表面上形成帽盖。所述帽盖由膜的双重层叠或多重层叠形成，所述层叠膜包括紫外(UV)阻挡膜和扩散阻挡膜。可以通过中间膜分隔扩散阻挡膜和UV阻挡膜。 | ||
| 申请公布号 | CN101197347A | 申请公布日期 | 2008.06.11 |
| 申请号 | CN200710186782.2 | 申请日期 | 2007.11.16 |
| 申请人 | 国际商业机器公司 | 发明人 | 格里塞尔达·博尼拉;克里斯托斯·D·迪米特拉科波洛斯;桑·V·古延;艾尔弗雷德·格里尔;萨特亚纳拉亚纳·V·妮塔;达里尔·D·雷斯泰诺;特里·A·斯普纳 |
| 分类号 | H01L23/532(2006.01);H01L23/522(2006.01);H01L21/768(2006.01) | 主分类号 | H01L23/532(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 张波 |
| 主权项 | 1.一种互连，包括：金属导体，具有顶表面和下表面，以及形成于所述金属导体的所述顶表面上的帽盖，所述帽盖由层叠膜形成，所述层叠膜包括紫外UV阻挡膜和扩散阻挡膜。 | ||
| 地址 | 美国纽约阿芒克 | ||