发明名称 沾点机构
摘要 一种沾点机构,包含一基座、一动力装置、复数个伸缩元件、一弹性元件以及复数个沾点脚柱。其中,该动力装置连接该基座并提供一动力源,该些伸缩元件设置于该基座下,该弹性元件系设于该伸缩元件下,且该等沾点脚柱系设置于该弹性元件下表面。
申请公布号 TW200824010 申请公布日期 2008.06.01
申请号 TW095142440 申请日期 2006.11.16
申请人 日月光半导体制造股份有限公司 发明人 李金松;卢祖平;张云龙
分类号 H01L21/50(2006.01) 主分类号 H01L21/50(2006.01)
代理机构 代理人 许锺迪
主权项
地址 高雄市楠梓加工出口区经三路26号