发明名称 | 流体喷射装置 | ||
摘要 | 本发明涉及一种流体喷射装置,其包括:喷嘴,其具有用于向基板吐出流体的吐出口;导向装置,其设在所述喷嘴的吐出口两侧端部,用于引导从所述吐出口喷射出的流体,使其能够均匀地喷射在基板的整个表面上。所述流体喷射装置通过改良的喷嘴结构,以垂直方向喷射流体,从而提高对基板的处理效率。 | ||
申请公布号 | CN101185920A | 申请公布日期 | 2008.05.28 |
申请号 | CN200710151417.8 | 申请日期 | 2007.09.28 |
申请人 | 显示器生产服务株式会社 | 发明人 | 金银洙 |
分类号 | B05B1/26(2006.01);B05B15/04(2006.01) | 主分类号 | B05B1/26(2006.01) |
代理机构 | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人 | 黄威;徐金伟 |
主权项 | 1.一种流体喷射装置,其特征在于,包括:喷嘴,其具有用于向基板吐出流体的吐出口;导向装置,其设在所述喷嘴的吐出口两侧,用于引导从所述吐出口喷射出的流体,使其能够均匀地喷射在基板的整个表面上。 | ||
地址 | 韩国京畿道 |