中空式阴极放电装置

摘要

一种中空式阴极放电装置,系包括中空阳极电极、绝缘固定于该中空阳极电极中之中空阴极电极、及固定于该中空阴极电极中之气体分配管,该中空阳极电极及中空阴极电极分别具有相对应之阳极开孔与阴极开孔,而该气体分配管与该中空阴极电极之间围限成一沿其轴向绕经各该阴极开孔之螺旋通道,以藉该螺旋通道形成复数个连续且相连通之反应腔室,并设有连通以供导入反应气体至各该反应腔室之气体分流孔。藉由彼此相连通之反应腔室使反应气体获得均匀分布有利于装置轴向长度增长之大尺寸化(Scale up)应用,克服知技术之缺点。