基板保管库

摘要

本发明提供一种基板保管库,该基板保管库1系具备:多段架5,可载置复数个用以收容复数片基板W之附气密盖的匣盒80;基板搬送部20,将以可移动之方式配置在多段架5之正面5a侧且载置于多段架5的附气密盖的匣盒80之气密盖予以开闭,并且在附气密盖的匣盒80彼此间搬送基板W;及匣盒搬送部30,以可移动之方式配置在多段架5之背面侧5b,且将附气密盖的匣盒80相对于多段架5之所有的匣盒载置位置5c搬出搬入。藉由该基板保管库1,即可进行收容于匣盒之基板的替换处理,并且适时地将匣盒搬入搬出。