涂布装置

摘要

【【课题】】提供一种能够对喷嘴内之处理液的压力作正确的测定之涂布装置。【【解决手段】】从帮浦4所吐出之处理液,系经由过滤器5以及开关阀6而被送至细缝喷嘴2中。被供给至细缝喷嘴2中之处理液的一部份,系从喷嘴下端之吐出口而被涂布至处理基板表面,而残余的处理液,系经由排出管8而被回收。此时,排出管8内之处理液的压力,系经由压力感测器9而被测定。