发明名称 | 用于MEMS电容式麦克风的改进膜片 | ||
摘要 | 公开了一种用于麦克风(1)的膜片(2),包括:第一部分(A1)、第二部分(A2)和连接所述第一部分(A1)和所述第二部分(A2)的元件(E1…E4,E1’…E4’)。第二部分(A2)设置成在空闲位置附近相对于所述第一部分(A1)移动,所述移动至少包括沿与所述膜片(2)垂直的移动方向(dm)的平移分量。所述元件(E1…E4,E1’…E4’)配置成限定在所述空闲位置附近的所述移动的弹簧常数,并且配置成实质上沿所述第二部分(A2)的外边界设置。 | ||
申请公布号 | CN101180917A | 申请公布日期 | 2008.05.14 |
申请号 | CN200680017335.8 | 申请日期 | 2006.04.25 |
申请人 | NXP股份有限公司 | 发明人 | 约瑟夫·卢茨 |
分类号 | H04R19/00(2006.01) | 主分类号 | H04R19/00(2006.01) |
代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 朱进桂 |
主权项 | 1.一种用于麦克风(1)的膜片(2),包括:第一部分(A1)、第二部分(A2)和连接所述第一部分(A1)和所述第二部分(A2)的元件(E1...E4,E1’...E4’),其中所述第二部分(A2)设置为在空闲位置附近相对于所述第一部分(A1)移动,所述移动至少包括沿与所述膜片(2)垂直的移动方向(dm)的平移分量;其中所述元件(E1...E4,E1’...E4’)实质上沿所述第二部分(A2)的外边界设置;以及其中所述元件(E1…E4,E1’…E4’)配置成限定在所述空闲位置附近的所述移动的弹簧常数。 | ||
地址 | 荷兰艾恩德霍芬 |