发明名称 Werkwijzen voor het bepalen van de kwaliteit van een lichtbron.
摘要
申请公布号 NL2000410(C2) 申请公布日期 2008.05.06
申请号 NL20062000410 申请日期 2006.12.28
申请人 TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD. 发明人 NAN-JUNG CHEN;JUI-CHUNG PENG;KEVIN HUNG;AN-KUO YANG
分类号 G03F7/20;G01J1/42 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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