发明名称 | 靶源冷却器的冷却水路 | ||
摘要 | 本发明是关于一种靶源冷却器的冷却水路,该靶源冷却器的本体定义为具有冷却水路入口侧及冷却水路出口侧,冷却水路入口侧向下凹入形成一容置空间,容置空间形成冷却流道,于容置空间上方设置一背板,本体前后端定义为第一端面及第二端面,第一端面邻近冷却水路入口侧设置一入口贯穿入冷却流道中,以及在容置空间近第二端面设置一通孔,冷却水出口侧设置一排出流道,排出流道一端与通孔连通,排出流道另端在第一端面上形成一出口,容置空间的底面上所形成的冷却流道与本体中所设置的排出流道形成上下不共平面,藉此设计,使冷却水流入冷却流道后,能走完其应走的冷却行程,达到提升冷却效率及提升靶源使用寿命之功效。 | ||
申请公布号 | TW200819553 | 申请公布日期 | 2008.05.01 |
申请号 | TW095138496 | 申请日期 | 2006.10.19 |
申请人 | 财团法人金属工业研究发展中心 | 发明人 | 谢志男;花瑞铭;傅俊贵 |
分类号 | C23C14/56(2006.01);C23C14/34(2006.01) | 主分类号 | C23C14/56(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 桂齐恒;阎启泰 | |
主权项 | |||
地址 | 高雄市楠梓区高楠公路1001号 |