用于等离子体反应器室的无O形环串列节流阀

摘要

一种阀系统，具有高的最大气体导通性和对气体导通性的精密控制，所述阀系统包括：阀壳体，用于阻挡经过气体流路的气流；穿过所述壳体的大面积开口，具有第一弓形侧壁；穿过所述壳体的小面积开口，具有第二弓形侧壁；以及大面积和小面积可旋转阀翼片，分别位于所述大面积开口和小面积开口中并具有分别与所第一和第二弓形侧壁一致的弓形边缘，并在其间分别限定了第一阀间隙和第二阀间隙。第一阀间隙和第二阀间隙小到足以阻挡高达预定压力限制的所述阀壳体一侧的气流，从而消除了对O形环的任何需要。

主权项

1.一种阀系统，具有高的最大气体导通性和对气体导通性的精密控制，所述阀系统包括：阀壳体，用于限制经过气体流路的气流；穿过所述壳体的大面积开口，具有第一弓形侧壁；和大面积可旋转阀翼片，位于所述大面积开口中，并具有与所第一弓形侧壁一致的弓形边缘，并在其间限定了第一阀间隙。