发明名称 STABILIZED ETCHING SOLUTIONS FOR Cu AND Cu/Ni LAYERS
摘要
申请公布号 IL188939(D0) 申请公布日期 2008.04.13
申请号 IL20080188939 申请日期 2008.01.22
申请人 BASF SE 发明人
分类号 C23F 主分类号 C23F
代理机构 代理人
主权项
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