半导体装置、半导体装置之检查方法、探针卡

摘要

进行对驱动部之动作测试时，藉由测试电路产生供给驱动部之测试信号。测试电路中，老化(burn-in)控制电路可根据从外部供给之时脉信号TESTCK产生上述测试信号。