发明名称 STRUCTURING OF FERROELECTRIC LAYERS
摘要
申请公布号 EP1307906(B1) 申请公布日期 2008.03.26
申请号 EP20010958059 申请日期 2001.08.07
申请人 QIMONDA AG 发明人 ENGELHARDT, MANFRED;HINTERMAIER, FRANK;WEINRICH, VOLKER;HARTNER, WALTER;SCHINDLER, GUENTHER
分类号 H01L21/311;H01L21/02;H01L27/115 主分类号 H01L21/311
代理机构 代理人
主权项
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