发明名称 Method of producing polycrystalline thin film and method of producing an oxide superconducting element
摘要
申请公布号 EP1386979(B1) 申请公布日期 2008.03.05
申请号 EP20030291830 申请日期 2003.07.24
申请人 FUJIKURA LTD. 发明人 IIJIMA, YASUHIRO
分类号 H01L39/24;C23C14/08;C23C14/34;C23C14/46;C30B29/16 主分类号 H01L39/24
代理机构 代理人
主权项
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