输送机

摘要

一种输送臂具有二突出的支撑部。该等支撑部的前侧末端系形成为使得该等支撑部的厚度沿着朝向其等的前侧末端而缩减。该输送臂中供晶圆放置的表面上设有多个吸附孔，以等间距形成于一扇形区域内。晶圆是由该等吸附孔加以固定在该输送臂上。晶圆上会充满着大量的静电。该输送臂充满着静电。该输送臂之表面上涂布以导电性的氟化石墨材料。因此，该输送臂放电至大气中的放电率会增高。因此之故，处于浮动状态中的输送臂的表面电位可以适切地加以抑制。因为作用于输送臂与晶圆间的静电所致的斥力的减低会造成晶圆振动的减低。