产生一用于材料加工应用之低发散度,高能雷射光束之装置及方法

摘要

本文揭示了一种供选择性地将沈积于一基板上之薄膜予以熔化的细光束雷射结晶装置，该装置包括有一个产生一脉冲雷射输出光束的雷射光源，该光源具有一个由一凸面型反射镜与一平面型输出耦合器所组成的震荡器；以及一个将光束聚焦于一第一轴、并在空间中将该光束扩展于一第二轴的光学配置，以产生一条供与该薄膜互相作用之线型光束。