一种平面电容谐振器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种平面电容谐振器及其制备方法。本发明所提供的平面电容谐振器，包括谐振体、传感电极、驱动电极以及支撑它们的衬底，谐振体是悬空的结构，通过锚点固支在衬底上；传感电极和驱动电极均由极板和焊盘组成，传感电极和驱动电极的极板分别设置在谐振体的两侧，与谐振体之间保持有一定的间隙，两两之间的间隙作为中间介质形成电容结构；传感电极和驱动电极的焊盘固定在绝缘介质层上，焊盘上均设置有金属电极；绝缘介质层固定在衬底上。本发明平面电容谐振器的电容极板间隙在亚100nm，具有极高的动态特性，其谐振频率可超过百MHz，而Q因子可达到10⁵。

主权项

1.一种平面电容谐振器，包括谐振体、传感电极、驱动电极以及支撑它们的衬底，所述谐振体是悬空的结构，通过锚点固支在衬底上；其特征在于：所述传感电极和驱动电极均由极板和焊盘组成，所述传感电极和驱动电极的极板分别设置在所述谐振体的两侧，与谐振体之间保持有一定的间隙，两两之间的间隙作为中间介质形成电容结构；所述传感电极和驱动电极的焊盘固定在绝缘介质层上，所述焊盘上均设置有金属电极；所述绝缘介质层固定在所述衬底上。