| 摘要 |
本发明是关于一种采用单元整合轨道型物品转移结构之半导体转移系统，其能够系统地且有效地防止在正常转移物品期间可能发生之载具在特定区段中集中或短缺的情况，且本发明是关于一种半导体转移系统之载具控制方法。半导体转移系统以单元整合结构来建构，其具有轨道以及沿轨道移动以转移物品的多个载具，其中轨道被划分为多个区段，且设定了在各别区段中移动之载具的数目之范围。只要载具之数目偏离所设定之范围，无载载具便自载具之数目大于所设定之范围的区段移动至中继区段，或无载载具便自中继区段移动至载具之数目小于所设定之范围的区段。因此有可能有效地防止载具在特定区段中集中或短缺。 |
