氢气感测器及其制造方法

摘要

一种氢气感测器(Hydrogen Sensor)及其制造方法，此氢气感测器包括：基底、半导体缓冲层、半导体主动层、欧姆接触(Ohmic Contact)金属层以及萧特基接触(SchottkyContact)金属蒸镀层。半导体缓冲层位于基底上。半导体主动层位于半导体缓冲层上。欧姆接触(Ohmic Contact)金属层位于一部分之半导体主动层上。萧特基接触金属蒸镀层位于一部分之半导体主动层上，且与欧姆接触金属层相距有一距离，其中萧特基接触金属蒸镀层的厚度实质介于10至5000之间。