用于模板压纹成形之快速热反应的感应加热系统

摘要

一种制造光学记忆体微结构用之感应加热系统，其中在低于10秒之总处理时间内，热循环允许制程卷材被快速地加热至松弛(relaxation)及回流(re-flow)温度，接着冷却至最佳分离温度。本明发之快速反应加热系统，可经由使用一或多个被嵌于压纹装置之平板(复数平板)中的旋转式不对称感应加热线圈来达成。