原位微区结构分析与性质测试联合装置

摘要

本发明公开了一种原位微区结构分析与性质测试联合装置，包括透射电子显微镜和扫描探针显微镜，扫描探针显微镜包括机械系统和电子学系统，机械系统安装在与透射电子显微镜样品杆外形尺寸一致的气密的空心杆内，对探针(或样品)的位置在透射电镜中可观测的空间范围内进行调节，电子学系统控制机械系统工作并对所测信号进行处理。本系统将透射电子显微镜和扫描探针显微镜的优势集于一身，实时记录材料微区原子结构和原位物性，将微区物性与其微观结构直接对应起来，能可视地操纵扫描探针显微镜的双探针(或样品)，并对样品进行位置调节和物性测量，可针对个别纳米结构进行再重入和定位测量。

主权项

1.一种原位微区结构分析与性质测试联合装置，其特征在于，包括透射电子显微镜和扫描探针显微镜，扫描探针显微镜包括机械系统和电子学系统，机械系统安装在与标准透射电子显微镜样品杆外形尺寸一致的气密的空心杆内，对探针或样品在透射电镜的可观测空间范围内进行位置调节，电子学系统控制机械系统工作并对所测信号进行处理；其中，所述扫描探针显微镜的机械系统包括固定槽、夹紧套层、滑块、剪切晶体、压电陶瓷管和探针，滑块通过固定在其外表面相对两侧的两对剪切晶体设置在夹紧套层内，与夹紧套层夹紧并可沿该夹紧套层内壁滑动，夹紧套层通过固定在其外壁相对两侧的两对剪切晶体设置在固定槽内，与固定槽夹紧并可沿与所述滑块上剪切晶体驱动方向垂直的方向横向滑动，压电陶瓷管与滑块轴向固定，与滑块连接的压电陶瓷管负责探针纵向移动，与探针连接的压电陶瓷管负责三维方向位置的细调。