一种适合单芯片集成的调频硅微电容传声器系统

摘要

本发明涉及一种适合单芯片集成的调频硅微电容传声器系统，包括电容传声芯片，其特征在于，还包括集成高Q射频谐振器和射频振荡电路，所述集成高Q射频谐振器与电容传声芯片串联或并联，并与所述射频振荡电路一起构成一个射频振荡回路；该射频振荡回路的输出是一个频率调制的射频信号。本发明的优点是省去了传统的硅微电传声器中不容易和CMOS工艺兼容或制作困难的DC－DC直流升压电路、500M欧姆以上的大电阻以及低噪声JFET阻抗变换器。另外，本发明将电容变化转换成频率变化的方法，可以避免传声器在低频端由于偏置电阻太小而引起的衰落。利用本发明可以大大简化无线麦克风系统的设计。

主权项

1.一种适合单芯片集成的调频硅微电容传声器系统，包括电容传声芯片，其特征在于，还包括集成高Q射频谐振器和射频振荡电路，所述集成高Q射频谐振器与电容传声芯片串联或并联，并与所述射频振荡电路一起构成一个射频振荡回路；该射频振荡回路的输出是一个频率调制的射频信号；所述的集成高Q射频谐振器的品质因数Q至少为100。