具有高品质因素之积体电路螺旋电感

摘要

一种具有高品质因素之积体电路螺旋电感，其系透过内连线将螺旋电感层之下层金属层作并联，藉以增加金属层厚度，进而有效降低螺旋电感之寄生电阻值，此外，也可利用增加螺旋电感层与其下层金属层之间的内连线接触面表面积，来降低螺旋电感之寄生电阻值，另外，在螺旋电感层下方形成一未与该螺旋电感层之相邻下层金属连接之内连线区，亦能藉由增加螺旋电感层之截面积来降低螺旋电感之寄生电阻值，并进而提高电感品质因素。