发明名称 半导体堆叠结构及其制法
摘要 一种半导体堆叠结构及其制法,系在第一基板上接置有半导体晶片及位于该半导体晶片周围之支撑件,且将一表面预设有贴片之第二基板接置于该支撑件上并透过焊线而电性连接至该第一基板,接着进行封装模压作业,藉以于该第一基板上形成包覆半导体晶片、焊线及第二基板之封装胶体,并使该贴片顶面外露出该封装胶体,其后即可移除该贴片而外露出该第二基板之第一表面,以供电子元件接置其上。避免知采用焊球回焊方式以电性连接第一及第二基板时造成半导体晶片污染问题,同时透过预设于第二基板上之贴片,更可避免知堆叠结构于封装模压作业中因使用特殊模具所造成制程成本增加及溢胶污染第二基板等问题。
申请公布号 TWI292617 申请公布日期 2008.01.11
申请号 TW095103695 申请日期 2006.02.03
申请人 矽品精密工业股份有限公司 发明人 黄建屏;黄致明;普翰屏;王愉博;萧承旭
分类号 H01L25/10(2006.01);H01L23/28(2006.01) 主分类号 H01L25/10(2006.01)
代理机构 代理人 陈昭诚 台北市中正区博爱路35号9楼
主权项 1.一种半导体堆叠结构之制法,系包括: 于第一基板上接置并电性连接至少一半导体晶片, 且于该第一基板上对应该半导体晶片周围设置支 撑件; 将一具第一表面及相对第二表面之第二基板接置 于该支撑件上,该第一表面之部分区域系覆盖有一 贴片,且该第二基板系以其第二表面而接置于该支 撑件上; 利用焊线电性连接该第一基板及第二基板;以及 进行封装模压作业,以于该第一基板上形成用以包 覆该半导体晶片、支撑件、第二基板、焊线及贴 片之封装胶体,并使该贴片顶面外露出该封装胶体 。 2.如申请专利范围第1项之半导体堆叠结构之制法, 复包括: 移除该贴片,以使该第二基板之部分第一表面外露 出该封装胶体;以及 于该第二基板外露出该封装胶体之第一表面上接 置并电性连接电子元件。 3.如申请专利范围第1项之半导体堆叠结构之制法, 其中,该半导体晶片系以打线及覆晶之其中一方式 而电性连接至该第一基板。 4.如申请专利范围第1项之半导体堆叠结构之制法, 其中,该支撑件为废晶片、金属块及绝缘块之其中 一者。 5.如申请专利范围第1项之半导体堆叠结构之制法, 其中,该支撑件为基板条,以供该第二基板电性连 接至该基板条,并由该基板条电性连接至该第一基 板。 6.如申请专利范围第1项之半导体堆叠结构之制法, 其中,该表面设有贴片之第二基板之制备方法系包 括: 提供一具复数第二基板且呈阵列排列之基板模组 片,该第二基板第一表面之中心部分系设有复数焊 垫,且该第二基板第一表面之周围部分系设有复数 焊线垫,并对于该第二基板中心部分上设置一贴片 以覆盖该焊垫;以及 沿各该第二基板边缘进行切割,以形复数表面设有 贴片之第二基板。 7.如申请专利范围第6项之半导体堆叠结构之制法, 其中,该焊线垫系透过焊线而使该第二基板电性连 接至该第一基板。 8.如申请专利范围第6项之半导体堆叠结构之制法, 其中,该贴片移除后,即可外露出该焊垫,以供电子 元件电性连接至该焊垫。 9.如申请专利范围第1项之半导体堆叠结构之制法, 其中,该堆叠有第二基板之第一基板系置于一具有 上模之模具中,并使该上模内侧顶缘顶抵住设于该 第二基板上之贴片,以便进行封装模压作业。 10.如申请专利范围第1项之半导体堆叠结构之制法 ,其中,该第二基板之第二表面系可选择接置并电 性连接有半导体晶片、被动元件及封装件。 11.如申请专利范围第10项之半导体堆叠结构之制 法,其中,该半导体晶片系以打线及覆晶之其中一 方式而电性连接至该第二基板。 12.如申请专利范围第1项之半导体堆叠结构之制法 ,其中,该贴片之厚度系大于焊线之线弧高。 13.如申请专利范围第1项之半导体堆叠结构之制法 ,其中,该第一基板底面植设有焊球。 14.如申请专利范围第1项之半导体堆叠结构之制法 ,其中,该半导体堆叠结构系可以单颗及批次大量 制造之其中一方式进行。 15.如申请专利范围第14项之半导体堆叠结构之制 法,其中,该半导体堆叠结构之批次方式之制法,系 包括: 提供一具复数第一基板之第一基板模组片,以于各 该第一基板上接置并电性连接半导体晶片,并于该 半导体晶片周围黏置支撑件,以于该支撑件上接置 第二基板,且该第二基板上形成有一贴片,藉以覆 盖形成于该第二基板表面之焊垫,并利用焊线以将 该第二基板电性连接至该第一基板; 进行封装模压制程,以于该第一基板模组片上形成 一包覆该些半导体晶片、支撑件、第二基板、焊 线及贴片之封装胶体,且使该贴片顶面外露出该封 装胶体; 于各该第一基板底面植接焊球,并对应各该第一基 板间进行切割,以分离各该第一基板;以及 移除该贴片,藉以完全外露出该第二基板上之焊垫 。 16.一种半导体堆叠结构,系包括: 第一基板; 至少一半导体晶片,系接置并电性连接至该第一基 板; 支撑件,系设于该第一基板上,且对应该半导体晶 片周围; 具第一表面及第二表面之第二基板,该第二基板系 以其第二表面周围而接置于该支撑件上; 焊线,系用以电性连接该第一及第二基板;以及 封装胶体,系形成于该第一基板上,且包覆该半导 体晶片、焊线、支撑件及第二基板,并使该第二基 板之第一表面外露出该封装胶体。 17.如申请专利范围第16项之半导体堆叠结构,复包 括有电子元件,系接置并电性连接至外露出该封装 胶体之第二基板上。 18.如申请专利范围第16项之半导体堆叠结构,其中, 该半导体晶片系以打线及覆晶之其中一方式而电 性连接至该第一基板。 19.如申请专利范围第16项之半导体堆叠结构,其中, 该支撑件为废晶片、金属块及绝缘块之其中一者 。 20.如申请专利范围第16项之半导体堆叠结构,其中, 该支撑件为基板条,以供该第二基板电性连接至该 基板条,并由该基板条电性连接至该第一基板。 21.如申请专利范围第16项之半导体堆叠结构,其中, 该第二基板之第一表面中心部分系设有复数焊垫, 且该第二基板之第一表面周围部分系设有复数焊 线垫。 22.如申请专利范围第21项之半导体堆叠结构,其中, 该焊线垫系透过焊线而使该第二基板电性连接至 该第一基板。 23.如申请专利范围第21项之半导体堆叠结构,其中, 该焊垫上可供电性连接电子元件。 24.如申请专利范围第16项之半导体堆叠结构,其中, 该第二基板之第二表面系可选择接置并电性连接 有半导体晶片、被动元件及封装件。 25.如申请专利范围第24项之半导体堆叠结构,其中, 该半导体晶片系以打线及覆晶之其中一方式而电 性连接至该第二基板。 图式简单说明: 第1图系为美国专利第5,222,014号所揭露之半导体封 装件堆叠结构剖面示意图; 第2图系为美国专利第6,828,664号所揭露之半导体封 装件堆叠结构剖面示意图; 第3A至3C图系为美国专利第6,861,288号所揭露之半导 体封装件堆叠结构之制法剖面示意图; 第4A至4G图系为本发明之半导体堆叠结构及其制法 之第一实施例剖面示意图; 第5A及5B图系为本发明之半导体堆叠结构中于第一 基板上接置支件之平面示意图; 第6A及6B图系为本发明之半导体堆叠结构中表面设 有贴片之第二基板制备示意图; 第7图系为本发明之半导体堆叠结构第二实施例之 剖面示意图; 第8图系为本发明之半导体堆叠结构第三实施例之 剖面示意图; 第9图系为本发明之半导体堆叠结构第四实施例之 剖面示意图; 第10图系为本发明之半导体堆叠结构第五实施例 之剖面示意图; 第11A及11B图系为本发明之半导体堆叠结构第六实 施例之剖面示意图;以及 第12A至12D图系为本发明之半导体堆叠结构及其制 法第七实施例之剖面示意图。
地址 台中县潭子乡大丰路3段123号