| 发明名称 |
DIFFUSOR UND SCHNELLZYKLUSKAMMER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60220152(T2) |
申请公布日期 |
2008.01.10 |
| 申请号 |
DE20026020152T |
申请日期 |
2002.03.21 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORP. |
发明人 |
HALSEY, HARLAN I.;JACOB, DAVID E. |
| 分类号 |
B05B1/06;H01L21/00;B01J3/02;C23C14/56;C23C16/44;C23C16/455;C23F4/00;C30B35/00;H01L21/3065;H01L21/31 |
主分类号 |
B05B1/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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