发明名称 |
Transistoranordnung mit Gate-Spacerstrukturen und Verfahren zu deren Herstellung |
摘要 |
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申请公布号 |
DE102005009019(B4) |
申请公布日期 |
2008.01.10 |
申请号 |
DE200510009019 |
申请日期 |
2005.02.28 |
申请人 |
QIMONDA AG |
发明人 |
GOLDBACH, MATTHIAS;STOEMMER, RALPH |
分类号 |
H01L27/092;H01L21/336;H01L21/8238;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L27/092 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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