发明名称 ULTRA-THIN HF-DOPED SILICON OXYNITRIDE FILM FOR HIGH PERFORMANCE CMOS APPLICATIONS AND METHOD OF MANUFACTURE
摘要
申请公布号 EP1872409(A1) 申请公布日期 2008.01.02
申请号 EP20060750619 申请日期 2006.04.19
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 ZHU, WENJUAN;CHUDZIK, MICHAEL P;GLUSCHENKOV, OLEG;PARK, DAE-GYU;SEKIGUCHI, AKIHISA
分类号 H01L29/78;H01L21/28;H01L21/336;H01L29/51 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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