发明名称 Apparatus and method for examining specimen with a charged particle beam
摘要
申请公布号 EP1455379(B1) 申请公布日期 2008.01.02
申请号 EP20040009739 申请日期 1999.07.02
申请人 ICT, INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUERHALBLEITERPRUEFTECHNIK MBH 发明人 FEUERBAUM, HANS-PETER;WINKLER, DIETER
分类号 G01Q30/12;H01J37/02;G01Q30/16;H01J37/28 主分类号 G01Q30/12
代理机构 代理人
主权项
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