发明名称 Verfahren zur Herstellung eines SOI-Substrats
摘要
申请公布号 DE602004008537(T2) 申请公布日期 2007.12.27
申请号 DE200460008537T 申请日期 2004.06.03
申请人 SILTRONIC AG 发明人 SASAKI, TSUTOMU;TAKAYAMA, SEIJI;MATSUMURA, ATSUKI
分类号 H01L21/76;H01L21/02;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/762;H01L27/12 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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