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发明名称 Verfahren zur Optimierung der Abbildungseigenschaften mehrerer optischer Elemente
摘要
申请公布号 DE50211158(D1) 申请公布日期 2007.12.20
申请号 DE20025011158 申请日期 2002.08.28
申请人 CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG 发明人 GEH, BERND;GRAEUPNER, PAUL;STAMMLER, THOMAS DR.;STENKAMP, DIRK DR.;STUEHLER, JOCHEN;WURMBRAND, KLAUS
分类号 G02B7/02;G03F7/20;G01B11/00;G01M11/02;G02B13/00;G02B27/00;G03F7/207;H01L21/027 主分类号 G02B7/02
代理机构 代理人
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